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普泰克 半導體測試Chamber冷卻器解決方案,依托其在精密熱管理領域的深厚技術積累,專為半導體封裝測試(ATE)及可靠性驗證環節中的環境試驗箱(Chamber)量身打造。
普泰克 PVD工藝晶圓冷板控溫,在物理氣相沉積(PVD)工藝中,晶圓載臺(冷板)的溫度控制精度與穩定性直接影響薄膜的沉積速率、均勻性及附著力,進而對芯片性能與良率產生重要影響。
普泰克 半導體工藝冷板冷卻器,在半導體刻蝕、薄膜沉積、離子注入等核心制程中,工藝腔體內的冷板承擔著精準控溫的重要職責。冷板表面溫度的均勻性與響應速度,直接影響晶圓表面的化學反應速率與薄膜生長質量。
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