普泰克制冷設(shè)備
專(zhuān)注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線(xiàn)：15214387784
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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體高低溫測(cè)試機(jī)半導(dǎo)體工藝?yán)浒謇鋮s器普泰克 半導(dǎo)體工藝?yán)浒謇鋮s器
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2026-07-16
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪(fǎng) 問(wèn) 量 ：73
15214387784
產(chǎn)品分類(lèi)
普泰克 半導(dǎo)體工藝?yán)浒謇鋮s器核心優(yōu)勢(shì)介紹
在半導(dǎo)體刻蝕、薄膜沉積、離子注入等核心制程中，工藝腔體內(nèi)的冷板承擔(dān)著精準(zhǔn)控溫的重要職責(zé)。冷板表面溫度的均勻性與響應(yīng)速度，直接影響晶圓表面的化學(xué)反應(yīng)速率與薄膜生長(zhǎng)質(zhì)量。普泰克半導(dǎo)體工藝?yán)浒謇鋮s器（Chiller）在以下方面形成了較為突出的核心優(yōu)勢(shì)：
一、精準(zhǔn)的冷板表面溫度控制
依托高精度PID控制算法與進(jìn)口鉑電阻溫度傳感器，系統(tǒng)力求實(shí)現(xiàn)每次控制結(jié)果的一致性。在特定工況下，部分機(jī)型控溫精度可達(dá)±0.1℃，有助于減少溫度波動(dòng)對(duì)刻蝕速率、薄膜均勻性及關(guān)鍵尺寸（CD）控制帶來(lái)的影響，輔助提升晶圓加工良率。
二、直冷型制冷，降溫響應(yīng)較快
采用制冷劑在冷板側(cè)直接蒸發(fā)吸熱的直冷型制冷方式，區(qū)別于傳統(tǒng)的二次換熱液冷方案。通過(guò)相變過(guò)程直接帶走熱量，降溫速度具有一定優(yōu)勢(shì)。部分PTZL系列直冷機(jī)支持冷板溫度200℃時(shí)直接開(kāi)啟壓縮機(jī)降溫，有助于縮短工藝切換等待時(shí)間。
三、較寬的溫度覆蓋與定制能力
支持較寬的溫度區(qū)間定制，覆蓋范圍可達(dá)-150℃至+300℃（依具體機(jī)型與定制需求而定）。可依據(jù)客戶(hù)冷板的尺寸、流道結(jié)構(gòu)、熱負(fù)荷特性進(jìn)行非標(biāo)定制，力求匹配不同刻蝕、沉積設(shè)備對(duì)冷板溫度的具體要求。
四、冷板表面均溫性?xún)?yōu)化
針對(duì)工藝?yán)浒鍖?duì)表面溫度均勻性的較高要求，系統(tǒng)通過(guò)優(yōu)化循環(huán)介質(zhì)流量與壓力參數(shù)，確保在深冷或高溫工況下介質(zhì)能順暢流經(jīng)冷板內(nèi)部微流道，有助于維持整塊冷板表面溫差的均勻性。優(yōu)化的流體動(dòng)力學(xué)流道設(shè)計(jì)，力求消除局部熱點(diǎn)或冷點(diǎn)。
五、全密閉循環(huán)設(shè)計(jì)
采用全密閉式循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，循環(huán)管路與外界空氣隔離，有助于避免低溫工況下吸收空氣中水分導(dǎo)致介質(zhì)性能改變，同時(shí)減少對(duì)真空腔體內(nèi)部環(huán)境的影響。系統(tǒng)無(wú)冷媒消耗，無(wú)需頻繁補(bǔ)充介質(zhì)，適合支持連續(xù)長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。
六、普泰克 半導(dǎo)體工藝?yán)浒謇鋮s器安全保護(hù)與智能監(jiān)控
配備彩色觸摸屏，支持溫度、壓力、流量等多參數(shù)實(shí)時(shí)顯示與記錄。系統(tǒng)內(nèi)置多重報(bào)警保護(hù)機(jī)制，包括壓縮機(jī)過(guò)熱、制冷系統(tǒng)壓力異常、超溫自動(dòng)斷電及故障自診斷等，有助于提升設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中的安全防護(hù)水平。
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