普泰克 真空兼容循環(huán)冷卻器核心優(yōu)勢(shì)介紹

在真空熱試驗(yàn)、半導(dǎo)體晶圓測(cè)試、薄膜沉積及材料科學(xué)研究等場(chǎng)景中，真空腔體內(nèi)部的散熱途徑極為有限——缺乏空氣對(duì)流，熱量?jī)H能依靠熱傳導(dǎo)與熱輻射傳遞，這對(duì)配套的冷卻設(shè)備提出了較高要求。普泰克真空兼容循環(huán)冷卻器在以下方面形成了較為突出的核心優(yōu)勢(shì)。

一、專為真空?qǐng)鼍斑m配設(shè)計(jì)

產(chǎn)品明確適用于真空涂覆冷阱、半導(dǎo)體芯片測(cè)試、熱沉試驗(yàn)、氣體捕集及藥品凍干等多種真空及低溫相關(guān)用途。通過優(yōu)化管路接口密封等級(jí)與循環(huán)介質(zhì)參數(shù)，系統(tǒng)可適配真空腔體對(duì)接要求，有助于在深冷工況下維持介質(zhì)順暢循環(huán)。

二、直冷型制冷，降溫響應(yīng)較快

區(qū)別于傳統(tǒng)的二次換熱液冷方案，該設(shè)備采用制冷劑在負(fù)載端蒸發(fā)器內(nèi)直接蒸發(fā)吸熱的相變制冷方式。液態(tài)制冷劑在蒸發(fā)器中吸收熱量后轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)，降溫速度較液冷溫差傳熱具有一定優(yōu)勢(shì)，同時(shí)無循環(huán)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)使設(shè)備外形更為緊湊。

三、較寬的溫度覆蓋范圍與定制能力

設(shè)備支持較寬的溫度區(qū)間定制，范圍可達(dá)-150℃至+35℃，可依據(jù)具體工藝需求進(jìn)行非標(biāo)擴(kuò)展。適用于熱沉低溫試驗(yàn)、芯片低溫測(cè)試、零部件環(huán)境試驗(yàn)及真空涂覆冷阱等多種工況。

四、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定性與保溫設(shè)計(jì)

采用整體式發(fā)泡保溫設(shè)計(jì)，保溫效果較好，設(shè)備表面不易產(chǎn)生凝露。控制上支持蒸發(fā)壓力調(diào)節(jié)，有助于維持運(yùn)行穩(wěn)定性。設(shè)備內(nèi)不含蒸發(fā)器，通過外部連接管路將低溫低壓液體制冷劑輸送至客戶負(fù)載，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔可靠。

五、普泰克 真空兼容循環(huán)冷卻器智能監(jiān)控與安全防護(hù)

配備運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示與故障自動(dòng)診斷功能，設(shè)有多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)機(jī)制。熱氣化霜功能可縮短化霜時(shí)間，減少對(duì)連續(xù)測(cè)試的影響。同時(shí)允許非標(biāo)控制程序定制，便于適配不同測(cè)試流程的需求。