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Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃,可在-20℃~85℃之間任意控溫,有良好的溫度穩(wěn)定性。
Chiller半導(dǎo)體溫控設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準控溫,裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成,采用先進的控制算法,提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。
普泰克 高熱密度制冷chiller,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺,專為半導(dǎo)體先進制程、高功率激光設(shè)備、新能源汽車三電系統(tǒng)及數(shù)據(jù)中心等高熱流密度場景量身打造。
普泰克 半導(dǎo)體chiller解決方案,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺,專為半導(dǎo)體晶圓制造、先進封裝測試及電子材料研發(fā)等嚴苛場景量身打造。
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